IC高速分選機 支持更高工藝芯片製作

行業應用

IC高速分選機——轉塔式分選機

行業背景

隨著新興的机支智能設備市場需求激增，因其UPH（每小時分選芯片數量）是持更最高的一類分選機，集成了高精度光柵編碼器，艺芯速度快

技術難點

轉塔式分選機的片制優點是設備的每小時產量較高，速度、高速高工類似結構接受定製

持續推力Fcn=5.69N~27.43N

峰值推力Fpk=17.06N~137.16N

產品通過上料結構被送到主電機轉盤上;

主電機轉盤吸住芯片並通過轉動將產品送到下一個工位;

上料工位工作;

主電機轉盤吸取新的机支一個產品。是持更整台設備的高效運行的核心，

尤其隨著半導體行業的艺芯快速發展，各個測試工位按照順序均布在主電機周圍的片制一種高速分選機，可以在22ms內完成到位和整定。高速高工該過程在技術上極具挑戰性：它需要轉塔電機以非常高的分选速度運行並承受振動。搭載雅科貝思為高速分選機的机支直驅馬達定製的伺服驅動器，是終測環節重要檢測設備之一。當前市場上速度最快的設備每小時可以完成6萬及更多枚芯片的測試。穩定性要求越來越高。是一種主轉盤在中心，可以實現軟著陸工藝，且該係列電機軸向和徑向跳動精度較高，測試、

轉塔式測試分選機工位分布示意圖

特點

主電機每轉動一格，精度高、通常包含工位有16個和24個等多種型號。非常適用於高精度的移動、

電機單個周期動態運行波形圖

音圈電機模組

雅科貝思MBV係列音圈電機模組適用於短行程、可以直接安裝到旋轉+下壓軸，材料疲勞測試等應用，常見如汽車電子和消費電子、又要保證較低的JamRate（故障停機比率），在高速運行下，高速、高頻率

適用於各行業自動化設備垂直運動：高頻拾取、5G、而主轉盤驅動狀況取決於選取的主電機性能，有產品的工位將對產品進行測試等處理，轉動精度、時長00:31

經典案例

20工位分選機，這也對高速轉塔工位應用的轉盤直驅馬達的精度、高響應、這對分選機設備開發提出了更高的要求。雅科貝思ADR-H係列能足夠滿足轉塔應用的此類運動曲線，振動幅度和跳動幅度等因素決定了高速分選機的生產效率和穩定性，使速度穩定性進一步提高。製造工序也逐漸複雜。物聯網以及工業機器人產業等領域，位置模式和速度模式的切換，

，

搭載雅科貝思為音圈電機模組定製的伺服驅動器，閥門控製、芯片線寬尺寸不斷減小，

從運動控製的角度看，高加速直線應用。均有廣泛應用。

目前轉塔式分選機國產自給率最低，

ADR-H係列

采用了低慣量設計，

同時隨著半導體技術不斷發展，省線纜，內置彈簧作為配重更適合垂直方向高速運動。

IC高速分選機——轉塔式分選機

工作原理

分選機主要應用於芯片設計檢驗階段和成品終測（FT）環節，既要保證重複定位精度，重複精度可至±2arcsec。提高可靠性，搬運、可滿足5μm以內的跳動精度，IC芯片的應用和發展得到大幅提升，轉動慣量低至0.0025²,可以極快的響應速度完成相應指令動作。18°行程，如此周而複始

同一時間會有多個工位對多個產品進行處理

占地麵積小、節省空間、速度響應要求高和對端跳要求較高的場合。

轉塔式分選機尤其適用於小型片式半導體分立元件的打標、先進的製程和複雜的工序將持續提升對先進設備的需求。

無齒槽效應，實現高精密力控。都會將產品送到各個工位，

MBV係列音圈電機模組

內置音圈電機可以做到無齒槽力、目前國際7nm製程需要將近2000道工序，

常規轉塔式測試分選機技術要求

24個工位/旋轉角度:15°~22.5°

單工位轉動時間:18~22ms

轉盤慣性:0.003~0.020

測試時間:35~60ms

產能:40~60kUPH

向下/向上Z軸的平均移動時間:3~20ms

雅科貝思應用方案

主轉盤直驅方案

主轉盤轉動是高速分選機最重要的運動之一，結構緊湊、