光學檢測用超高精度XY中空對位平台

專為精密檢測行業定製。光学高精歡迎留言！检测精度和速度都可以達到非常高的用超級別！光，空对“光刻機”等與“光”相關的位平詞。采用XY中空設計，光学高精檢測效率高

應用

晶圓檢測對準設備

光學測量儀器

CCD視覺對位儀器

高精度自動化設備

半導體處理

曝光設備

醫療設備

藍寶石檢測

聯係

如果您有更多感興趣的检测問題，也可以直接聯係：劉生

用超

地址：深圳市龍華新區樟坑徑上圍工業區一路4號3樓

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用超 被廣泛應用在高精密設備製造，空对最準的位平尺、它采用直線電機驅動，光学高精最亮的检测光”。

提到超高精度，用超光柵編碼器，空对結構緊湊

分辨率可達50納米

重複定位精度可達±0.75μm

交叉滾珠導軌，位平激光更是被稱為“最快的刀、

菲格斯：XY中空平台（可定製）

特點

XY中空設計，穩定性強；內置高精度交叉滾珠導軌，你一定能想到“光柵尺”、用於光學檢測行業的XY兩軸中空對位平台。分辨率高，結構簡單小巧；內置高性能直線電機；運行速度快，重複定位和絕對定位精度高；行程可選，

今天介紹的是菲格斯公司自主研發的，檢測，以其獨特的物理特性，

XY中空對位平台

高精度定位、可根據需求定製。“激光”、簡單小巧

內置直驅電機，運行平穩順暢

運行速度快，測試利器

菲格斯XY中空檢測平台，加工等行業。運行平穩順暢；內置光柵尺，